ライン

マイクロナノグループ

ライン

グループ紹介

  極低温,高温,強磁場などの特殊環境で動作するアクチュエータや,空圧,電磁アクチュエータの小型駆動源の開発を行っています.使用環境や目的に応じて,超音波,電磁,流体といった動作原理を使い分けています.

研究内容

極低温用超音波モータの開発

  極低温環境では,超伝導・超流動などの室温では見られない量子力学が支配的な現象を生じるため,最先端科学の分野において重要な役割を担っている.
  本研究では,液体ヘリウム温度付近の極低温環境において回転駆動可能な超音波モータを開発している.

極低温モータ


強磁場環境用超音波モータ

強磁場モータ

  本研究では,強磁場環境を利用し分子構造の分析を行う核磁気共鳴(NMR)分光法の試料回転機構へ超音波モータを応用することを目的としている.これにより様々な環境下において測定試料を高速・高精度で回転させることができる.
  磁場7 Tにおいて製作した超音波モータを用いた固体NMR測定を行った結果,固体試料の信号取得に成功した.


集束超音波の発生を目的とした凹面かつ小型の超音波トランスデューサ

  水熱合成法は水溶液中の反応であり,立体的な形状をもつ基板にも圧電膜の成膜が可能であるという特徴を有している.
  本研究では,凹面型超音波トランスデューサを水熱合成法により作製した.このトランスデューサにより発生する集束超音波は,微小領域内における微粒子のマニピュレーションなどに有効である.

電磁ワブルモータ